關(guān)鍵詞：高精度靈敏光譜橢偏儀

 橢偏儀儀器   光譜橢偏儀   橢偏儀分析   橢偏儀設(shè)備   分光橢偏儀

產(chǎn)品用途：

  BX-G101高精度靈敏光譜橢偏儀針對(duì)科研和工業(yè)環(huán)境中薄膜測(cè)量推出的高精度快速攝譜型光譜橢偏儀，波長(zhǎng)范圍覆蓋紫外、可見(jiàn)到紅外。 光譜橢偏儀基于高靈敏度光譜探測(cè)單元和光譜橢偏儀分析軟件，用于測(cè)量單層和多層納米薄膜的層構(gòu)參數(shù)（如，厚度）和物理參數(shù)（如，折射率n、消光系數(shù)k，或介電函數(shù)ε1和ε2），也可用于測(cè)量塊狀材料的光學(xué)性質(zhì)。

儀器特點(diǎn)：

  1. *的旋轉(zhuǎn)補(bǔ)償器測(cè)量技術(shù)：橢偏角△的測(cè)量范圍是0-360o，無(wú)測(cè)量死角問(wèn)題，也可消除粗糙表面引起的消偏振效應(yīng)對(duì)結(jié)果的影響

  2. 秒級(jí)的全光譜測(cè)量速度：全光譜測(cè)量典型時(shí)間5-10秒

  3. 原子層量級(jí)的檢測(cè)靈敏度：可以測(cè)量單原子層

  4. 視頻式樣品對(duì)準(zhǔn)：精確完成樣品對(duì)準(zhǔn)，并方便觀察，減小人為誤差

  5. 多入射角度調(diào)節(jié)：多入射角度結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)，增強(qiáng)了儀器測(cè)量的靈活性，尤其適合于超薄樣品或復(fù)雜的樣品的測(cè)量場(chǎng)合

  6. 反射率/透射率測(cè)量：對(duì)樣品進(jìn)行光譜透射率和反射率測(cè)量

  7. 一鍵式儀器操作：對(duì)于常見(jiàn)操作，只需鼠標(biāo)點(diǎn)擊一個(gè)按鈕即可完成復(fù)雜的測(cè)量、建模、擬合和分析過(guò)程，豐富的模型庫(kù)和材料庫(kù)也同時(shí)方便了用戶的高級(jí)操作需求

技術(shù)參數(shù)：